技术性能指标
该仪器设备主要性能指标:(1)扫描器1)原子力显微镜平台扫描器二个高分辩扫描器:xy:12um,z:2.5um(可实现原子分辨测试,噪音水平低于0.03nm)高分辨大范围扫描器:xy:125um,z:6um(可实现原子分辨测试,噪音水平低于0.03nm)2)进针方式:智能自动进针方式(采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式,保护探针及样品,可更容易的得到高分辩的测试要求)3)原子力显微镜扫描器为样品扫描方式,高分辩扫描器(热飘移水平低于1nm)4)原子力显微镜大范围扫描器要求,xy方向必需大于或等于125微米5)扫描隧道显微镜平台扫描器二个高分辩扫描器:xy:10um,z:2um(可实现原子分辨测试)高分辨大范围扫描器:xy:0.4um,z:0.4um(可实现原子分辨测试)6)扫描隧道显微镜扫描器为探针扫描方式,高分辨扫描器(2)spm控制系统及功能1)系统可实现liftmode的控制,抬高模式(对于表面磁学,电学特征的表征)2)控制精度:扫描的数字分辨率就不依赖于扫描尺寸和偏移量。在不更换扫描器的情况下,给所有的扫描轴上的形状和偏移量提供不小于16位(216=65,536)的分辨率。3)定量相位成像模块:-180?到+180?全线性相位成像4)控制单元精度x方向:三个独立16位dacy方向:三个独立16位dacz方向:三个独立16位dac(3)系统配套部分1)光学系统:在操作原子力显微镜、扫描隧道显微镜的同时,可获得光学图象,10倍nikon物镜(工作距离:49.5mm;数值孔径:0.2;分辨率:1.6μm),垂直方向移动范围超过400mm2)液体环境,ecafm,ecstm分别提供不同的液体环境系统3)防震:落地桌式防震台,气体浮动平台,可实现原子像测试要求。4)2*19”液晶显示器、1*13”彩色监视器、长时间操作稳定性高的电脑(intelpentium4–2.0ghzorabove;160gbideharddisk;1gbddrram;128mbquality3dgraphicscard;networkcard)。